熱式質量流量計

測定原理

加熱物体を流れの中に置くと熱エネルギーが流体によって運び去られる。物体が失う熱量は、流体の定圧比熱と質量流量の積に比例する。流体の種類毎に校正曲線を作れば失う熱量から質量流量が分かる。

特 長

気体の質量流量が温度・圧力の補正無しに直接測定できる。

微少流量まで精度良く測定可能。

使用上の注意

気体の種類や組成が変わると再校正が必要。

ごみや埃にセンサが弱い。


参考情報

中大流量にはバイパス型と挿入型で対応する。

測定対象は主に気体であるが、液体の微少流量も測定可能。(東京計装)
 (ただし、通常の水は水垢が管壁に付くトラブルあり)